一、產品介紹
PS-7是一款通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體,可通過PDA讀取數據。通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導體材料氣體檢測器;傳感器經過校準和交付,無需現場氣體校準。此外,無需工具即可輕松更換傳感器;小巧輕便的設計;通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度,報警狀態和錯誤信息;采樣流量的自動控制功能;當插入與設置不同的傳感器時,傳感器具有防止錯誤插入的功能;通過連接PDA,可以獲取存儲在檢測單元中的數據;轉換器單元(選件)可用于檢測NF3和CCl2;符合CE標準;符合SEMI標準。產品用于石油化工、半導體制造等。
二、產品特點
帶有氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示,現場狀態一目了然
實現小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設定多樣的維護模式
組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器,能檢測NF3等
實現了用PDA讀取數據
符合CE規格,SEMI規格
三、產品參數
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帶有氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示,現場狀態一目了然
實現小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設定多樣的維護模式
組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器,能檢測NF3等
實現了用PDA讀取數據
符合CE規格,SEMI規格